低温等离子净化设备 工业油烟废气治理设备
低温等离子体主要是由气体放电产生的。所为气体放电是指,通过某种机制使一个或几个电子从气体原子或分子中电离出来,形成的气体煤质称为电离气体,如果电离气体由外电场产生并形成传导电流,这种现象称为气体放电。
气体放电方式可分为以下几种:
(1) 辉光放电
直流辉光放电是在10^-2-102Torr(1Torr=1.33×102Pa)的低气压下,在两个导电电极(阴极和阳极)之间加上102-103V的直流电压。放电腔体重的游离电子(宇宙射线产生的)在电场的作用下,被加速而获得能量,从而与中性气体碰撞电离形成等离子体。
(4) 射频放电
射频放电的电极通常安装在放电空间的外部,利用高频率通过电感和电容耦合使反应器中的气体放电形成等离子体。由于射频低温等离子的放电能量高、放电的范围大,现在已经在材料的表面处理和有毒废物清除和裂解中得到应用。
(5) 微波放电
微波等离子是用微波能电离形成的,其发生器本身没有内部电极,从而消除了电极污染和腐蚀,有利于高纯化学反应和延长设备的使用寿命。
目前,上述五种放电方式中,脉冲电晕放电和介质阻挡放电在工业中应用较广泛。
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