目前,TFT-LCD的清理工艺中,一般采用的清洗方法有X紫外清洗,毛刷辊刷清洗,泡沫喷射及纯净水喷射清洗等。在TFT-LCD生产过程中,其基板表面残留很多细碎的颗粒,如有玻璃碎屑,灰尘,微小有机物或纤维等,如果不能及时X地清除这些颗粒,后果将非常严重,将会产生如金属层之间短路,大面积脱落或者残留等各种不良现象,从而影响产品的各种电学性能。所以,TFT-LCD生产过程中清洗工艺是极其重要的一个环节。其中毛刷辊清洗法对于粒径大于3μm的颗粒的清洗效果很好,毛刷通过紧贴玻璃基板表面高速旋转,可以X去除粘附或者沉积在金属和非金属膜层的大颗粒。因此毛刷质量的关键将影响玻璃基板的洗净率,一般选用双钢带螺旋缠绕式毛刷,刷毛密度要高,这样才能提高洗净率。