技术参数:
分束器和补偿板平面度
≤1/20λ
动镜移动X小读数值
0.0005mm
动镜行程
10mm(粗调)0.25mm(细调)
F-P镜面直径
30mm
气压表量程
0-40kPa
激光输出功率
0.7-1mW
波长测量准确度
当条纹计数100时,相对误差约2%