移動(dòng)
反饋
頂部
光柵尺為透射式幅值光柵,其原理為主,副光柵相對(duì)位移時(shí),產(chǎn)生莫耳條紋變化,此變化將由精密光電轉(zhuǎn)換器件,轉(zhuǎn)換為電訊號(hào),然后經(jīng)訊號(hào)處理電路處理后,輸出相應(yīng)位移量的數(shù)字訊號(hào)。萬(wàn)濠光柵尺(光學(xué)尺)
白金第9年
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